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              紅外發射顯微鏡系統-IREM-II系統

                  美解除世界上分辨率最高噪音最小的紅外和近紅外發射顯微鏡系統的對華禁售!

                     作為世界上分辨率最高噪音最小的紅外和近紅外發射顯微鏡系統-美國IRLabs公司IREM-II系統已經不再被列入國際武器貿易條例(ITAR)中,經美國商務部允許,可以向中國出售。

                     IRLabs 擁有72項紅外發光顯微鏡專利,IREM-SIL 系統是當今世界最靈敏、分辨率最高的紅外和近紅外發射顯微鏡系統,成為世界主要半導體制造商作為集成電路的失效性分析的強有力工具。IREM-SIL建立在其前身IREM-II系統的核心技術之上,集世界上最靈敏的InGaAs顯微鏡同固體浸沒透鏡為一體,空前滿足現今以及今后很長一段時間需求的亞微米深亞微米級水平的分辨率以及成像。僅Intel 公司就采購過30多套IRLabs的紅外發光顯微鏡。

               

              主要特性:

               

               

              分辨率
              1、探測器/相機
              l     獨有ULN像傳感器專利技術
              l     最低噪音,最高信噪比
              2、鏡片
              l     光譜范圍1.1µm - 1.6µm
              l     0.3 x微距鏡頭, 1x, 10x, 25x, 100x, LIO, 2.8 NA SIL和其他型號
              l     高透過率和分辨率(<150nm) 

               

              重復性
              1、移動系統
              l     8軸
              l     超低parcentricity error確保精確定位 (<0.5µm ) 
              2、AIRIS 軟件
              l     第三方軟件包括CADNav 
              l     立足于14年的實踐經驗,技術成熟度高


              可靠性
              l     正常工作時間>世界范圍的97%
              l     數據一致性


               其他部件:

               

              鏡頭滑移臺

                  四級移動速度從小到大影響分辨率,升級23位置的滑移臺可以獲得更高的速度,高分辨率和閉環透鏡,而且不會影響重復性。

               

              l     目前分辨率100nm

              l     迅速精準的靜態圖像平移

              l     運動學設計保證更換鏡片或者其他部件時精確的偏移值。

              l     鏡片更換前后圖像和結果的一致性

              l     高速滑移行程

              l     鏡頭部分便于升級

               

              移動控制系統

                  開環結構設計使移動質量位于系統重心,有效減少殘余振動。高分辨率的編碼器可應用于控制相機的微移。另外,氣體隔離裝置保證了低振動頻率,且衰減迅速,確保振動不會傳遞到被測設備或者相機。

               

              l     8軸保證了最高的穩定性和最低的漂移

              l     超低的偏移誤差保證精確的定位

               

               

               

               

               

               

              X-Y-Z平移臺

              為滿足產品監測過程中對圖像傳感器透射光路或者安裝在中心位置的要求,特別設計了X-Y-Z平移臺。

               

               

               

              電子配件

                  為鏡頭滑移提供電源供應和移動控制以節省時間改善日重復性。

               

              l     高速,高重復性控制以改善偏移誤差

              l     恒流源保證圖像日重復性和一致性

              l     支撐完全軟件控制照明器的選擇

               

               

               

               

               

              AIRIS 軟件

                      AIRIS先進的紅外輻射成像軟件完全支持IREM-SIL系統   

               

              l     足于14年的IREM專業技術和客戶需求反饋而設計

              l     圖像處理功能基于天文應用設計研發

              l    用于提高空間分辨率和定位的算法同時優化了信噪比以及實時成平場精確

              l     軟件能夠與硬件操作良好集成,優化結果。

               

                         

               

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